《表1 TiCrAlCN薄膜的元素成分(以原子分数表示)》
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《多弧离子镀TiCrAlCN薄膜及其微观结构与摩擦学性能研究》
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4Cr5MoSiV1钢试样的直径为25 mm,高5 mm,依次经丙酮、酒精、超声清洁除油后放入工业型多弧离子镀设备中。TiCrAlCN薄膜为Cr/TiAl/TiAlN/TiCrAlCN多元多层和梯度化设计,由4个部分组成:首先是300 nm厚的金属Cr打底,100 nm厚的TiAl薄膜作为第一过渡层,200 nm厚的TiAlN薄膜作为第二过渡层,最后制备TiCrAlCN薄膜(6~15μm)。TiCrAlCN薄膜的镀膜工艺参数见表1。
图表编号 | XD00100462100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.09.15 |
作者 | 郭岩、叶智、张超、徐勃、田树高、祖平文、杨文涛、聂海军 |
绘制单位 | 华电电力科学研究院有限公司、华电电力科学研究院有限公司、华电电力科学研究院有限公司、华电电力科学研究院有限公司、华电电力科学研究院有限公司、华电电力科学研究院有限公司、华电电力科学研究院有限公司、华电电力科学研究院有限公司 |
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