《表1 不同沉积温度制备的氧化铝薄膜元素成分 (质量分数/%)》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《大气压介质阻挡放电等离子体辅助原子层沉积氧化铝阻隔膜》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

结合图3薄膜的阻隔性能和图5、图6的AFM薄膜表面形貌，认为80℃薄膜的阻隔性较好，然而随着沉积温度的升高，薄膜的WVTR值略有上升，是因为PET基底与沉积氧化铝薄膜的热膨胀系数不匹配，导致氧化铝薄膜内应力增加，出现微小裂纹所致。