《表2 在不同沉积温度下制备的ZnS的元素含量》

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《沉积温度对ZnS材料结构和红外光学性能的影响》

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图2是在不同沉积温度下所得ZnS样品的XRD谱图，衍射角2θ从20°到80°，在约2θ=28.57°、33.06°、47.55°、59.19°、69.52°、76.84°、79.14°位置上出现衍射峰，它们分别来自卡片号为05-0566[10]的ZnS的下列晶面衍射的特征峰:（111）、（200）、（220）、（311）、（222）、（400）、（331）、（420）。通过分析XRD图谱表明:化学气相沉积产物为ZnS，且其结构为立方（闪锌矿结构）结构，随着沉积温度升高，开始有少量的六方（纤锌矿结构）结构ZnS生成。研究表明[11]:立方结构的ZnS对光是各向同性的，折射率与光的入射方向无关，是很好的红外光学材料，而六方结构的ZnS对光是各向异性的，当光透过任意取向的晶粒之间的边界时，则会产生折射和散射，造成光学透过率下降。因此，在保证良好的光学特性、机械性能等其他性能时，要尽量减少和避免六方结构的硫化锌生成。