《表3 EDS测试得到的ZnS的元素含量》

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《沉积温度对ZnS材料结构和红外光学性能的影响》

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表2及表3是通过X射线光电子能谱仪（XPS）和扫描电镜能谱仪（EDS）测试得到的不同沉积温度下的ZnS的元素含量。两种测试结果表明:随着沉积温度的升高，Zn原子含量逐渐减少，但Zn/S原子比始终大于1，Zn元素过量，过量的Zn与未发生分解反应的H2S气体形成了Zn-H络合物。而随着沉积温度的升高，ZnS中的Zn原子百分含量的减少则表明了Zn-H络合物的减少。