《表1 在不同氧化温度和氧化时间下TiN粉体氧化产物中TiO2的质量分数》

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《TiN粉体的氧化行为》

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图1为TiN粉体在600~800℃、不同氧化时间下氧化后形成产物的XRD图谱。同时，结合参比强度法，计算得到的氧化产物中TiO2的质量分数见表1所示。当氧化温度为600℃、保温时间为0.5h时，TiN已开始氧化，但氧化形成的TiO2衍射峰较弱，其含量约为13.0wt%；当氧化时间增加到3h时，虽然TiN衍射峰仍然较强，但TiO2衍射峰显著增强，氧化产物中TiO2含量已达到43.1wt%；继续增加氧化时间到5h时，氧化形成的TiO2已成为主相，其含量为58.3wt%，但仍有大量的TiN未发生氧化。