《表1 薄膜的元素组成和膜厚Tab.1 Composition and thickness of as-deposited films》

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《不同掺杂对类金刚石薄膜的影响》

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图2为薄膜的拉曼光谱及其分峰拟合图。由图2可知，拉曼光谱包含四个拟合峰，其中G峰（约1350 cm-1）由晶体石墨光学允许的E2g区中心振动模式产生，D峰（约1588 cm-1）由T2g对称振动模式产生。此外，根据已往文献[15]，主要通过G峰和D峰分析薄膜的详细键合结构，从而忽略其他两个拉曼拟合峰（峰位约1300 cm-1和1500 cm-1）。ID/IG值和G峰位置常用来研究掺杂元素对薄膜中碳原子结构的影响。图3为薄膜拉曼光谱的拟合结果，图中ID/IG值和G峰位置先下降后上升，表明薄膜中sp3 C含量先增加后减少，Si-DLC薄膜中sp3键的含量最高。这主要是由于Si原子与C原子仅以单键键合，Si掺入薄膜后减小了薄膜中sp2杂化碳团簇的尺寸，从而促进了sp3相的形成。Ag、Si共掺DLC后，ID/IG值和G峰位置都有增加，说明以金属相分布在薄膜中的Ag元素又促进了sp2相的形成。