《表2 极化曲线Cview拟合后的参数Tab.2 Data obtained from spectra fitting of polarization curve by Cview software》

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《不同掺杂对类金刚石薄膜的影响》

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图8为薄膜在3.5%Na Cl溶液中的动电位极化曲线。表2为极化曲线Cview拟合后的参数，可以看出，相比304不锈钢基体，沉积薄膜的基体腐蚀电位提高，腐蚀电流密度降低了近2个数量级，而且腐蚀速率也降低了近1个数量级，表明薄膜提高了基体的耐蚀性能。此外，Si-DLC薄膜与DLC薄膜的腐蚀电位相近，但其腐蚀电流及腐蚀速率低于DLC薄膜，这是由于Si掺入引起薄膜中sp3 C含量的增加，薄膜的致密度增加，耐腐蚀性能提高[17]。与其他薄膜相比，Ag与Si共掺的薄膜具有最优的耐腐蚀性能。Khun等[18]发现在DLC薄膜中掺入Pt和Ru可以提高薄膜的耐腐蚀性能，这归因于Pt和Ru的掺入引起薄膜中sp2键含量的增加。因此，Si（Ag）-DLC薄膜耐腐蚀性能提高可能与Ag掺入后在一定程度上促进了sp2相的形成有关，这与拉曼结果分析相吻合。此外，该薄膜还具有最高的韧性，说明薄膜结构更加均匀、致密，并且膜基结合强度更高，这都有利于提高薄膜的耐蚀性能。