《表4 桥区线宽及膜厚测试数据Tab.4 Test data of bridge line width and film thickness》
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首先，利用SEM对薄膜结构换能元样品进行表征测试，获得了样品桥区微观结构及线宽等参数，桥区微观结构如图5所示，桥区线宽测试数据见表4。
| 图表编号 | XD0022419000 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.09.01 |
| 作者 | 任炜、赵玉龙、褚恩义、张彬、李慧 |
| 绘制单位 | 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室、陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室、西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室、陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室、陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室、陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
