《表1 材料的线性热膨胀系数Tab.1 Linear thermal expansion coefficient of applied materials》

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其中:μi是线性热膨胀系数（如表1）[10]，YH1是支架的高度，YH2是支架以上到入射光轴的高度（包括真空腔体及真空内调节部件等）。

图表编号XD0022418900    严禁用于非法目的
绘制时间2018.09.01
作者陈家华、邹鹰、卢启鹏、王勇、薛松
绘制单位中国科学院上海应用物理研究所、中国科学院大学、中国科学院上海应用物理研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室、中国科学院上海应用物理研究所、中国科学院上海应用物理研究所
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