《表2 不同材料样品的设计电阻值Tab.2 Design resistance of samples with different materials》

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《微机电火工品薄膜结构换能元》


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利用薄膜电阻计算公式(1),计算得到的6种材料样品在设计结构参数下的设计电阻值,均符合换能元的电阻设计范围,数据如表2所示。