《表1 远紫外辐照前后PI薄膜的成分变化Tab.1 Component percentage of PI film before and after FUV irradiation》

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《空间远紫外辐照聚酰亚胺薄膜力学性能演化机理》

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远紫外辐照前后PI薄膜的元素成分变化见表1。由表1分析可知，随着远紫外曝辐量的增加，C元素的含量先减少后增加，与之对应，O元素和N元素含量则是先增加、后减少。这是由于远紫外辐照可引起薄膜材料发生分子价键的断裂，引起O元素和N元素向表面富集，并变成小分子释放出去，进而造成C元素含量增加，进一步发生交联反应。从宏观上表现为PI薄膜的力学性能先降低、后增加。