《表3 两组实验膜厚折射率结果Tab.3 The film thickness and refractive index results of two groups of experiments》

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《板式PECVD镀膜均匀性及颜色优化研究》

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镀膜质控点要求范围膜厚80±2nm、折射率2.10±0.02，两组实验镀膜测试数据如表3。

图表编号	XD0019708000 严禁用于非法目的
绘制时间	2018.06.30
作者	张晓朋、李翠双、刘海金、闫兰、赵培
绘制单位	英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室、英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室、英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室、英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室、英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室
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