《表3 不同温度氧化铜箔表面氧化膜吸收值和对应膜厚Tab.3 Absorption values and the corresponding film thicknesses of copper fo

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《直接敷铜技术中铜箔预氧化层的检测与控制》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

以增重法测得的铜箔样品表面氧化膜的膜厚与紫外-可见光度计测试的光谱吸收值进行关联并进行线性拟合，拟合之后的关系曲线如图4所示。从图中可以看到铜箔表面氧化膜的厚度与紫外-可见吸收光谱中红光部分的光谱吸收值呈现良好的线性相关性，线性相关性指数R2值为0.99。表3是不同温度预氧化处理后铜箔表面氧化膜的紫外-可见光谱吸收值以及根据图4拟合曲线获得的对应膜厚，发现通过测试紫外-可见光谱吸收值计算得到的膜厚和氧化增重法测得的膜厚相对误差控制在±5%以内[9]，说明用紫外可见吸收值来表征氧化膜厚度是可行的。