《表4 不同氧化条件和退火后Mg-Al复合氧化物薄膜粗糙度Tab.4 Surface roughness of the Mg-Al oxide films anodized in different

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《阳极氧化法制备Mg-Al复合氧化物绝缘层的研究》

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合金薄膜经氧化之后，形貌有变化，如图5所示。对比氧化前后的SEM图可知，合金薄膜经过阳极氧化后，晶粒由棱角分明变得圆滑，即氧化膜比合金薄膜更为平整。这一方面是因为溶液具有微弱的碱性，在焦耳热作用下，对薄膜有轻微的腐蚀，另一方面是因为晶粒棱角的表面积较小，使得电流密度较大[6]，局部合金的反应更快，同时，大的电流密度会产生更多的焦耳热[7]，使得局部温度升高，加速局部薄膜的溶解[8]。经AFM测试，不同氧化条件和退火后薄膜的粗糙度如表4所示，从中可知恒流3mA、恒压85V的氧化条件下薄膜粗糙度最小，经过退火后薄膜粗糙度有小幅的下降。