《表2 不同缓冲层上溅射的AZO薄膜性能Table 2 Properties of AZO thin film in different buffer layers》

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《掺铝氧化锌(AZO)薄膜的应用及研究评述》

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（2） 增加缓冲层。引入缓冲层可以改善AZO薄膜与衬底之间的晶格失配，使晶界减少，薄膜的缺陷减少，对光的散射和吸收减少，光的透射率增加。Y.Chen等[23]利用射频磁控溅射的方法分别在ZnO缓冲层及Si衬底上生长AZO薄膜，通过SEM图像分析可知，加入缓冲层后的AZO薄膜表面比较粗糙，而且具有较好的c轴优先生长取向。因为ZnO缓冲层释放了残余应力，AZO结晶质量也得到了提高，其晶粒尺寸（18.4nm）也大于无缓冲层的AZO的晶粒。其他研究者也对此问题做了研究，结果如表2所示。