《表2 NAZO薄膜的晶格常数和晶胞体积Table 2 Lattice constant and unit-cell volume of NAZO thin films》

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《共掺浓度对Na-Al共掺杂ZnO薄膜微观结构和光电性能的影响》

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式中:dkhl是晶面间距；khl是晶面指数；α和χ分别是a轴常数和c轴常数。表2为NAZO薄膜的晶格常数和晶胞体积。可以看出，1#和5#样品分别是只掺杂了Al元素和Na元素，掺杂浓度都是1%，但是5#样品的晶胞体积比1#样品的大，这是因为Na+半径（95pm）比Al 3+（50pm）和Zn2+（75pm）半径大，所以Na进入ZnO晶格后，晶胞体积增大。Na-Al共掺后，3#和6#样品的晶胞体积比其他样品的要小。主要原因是，共掺时元素间固溶比的不同及相互作用使掺杂元素多数以代位方式进入晶格，晶胞体积变小；而其他样品掺杂元素以间隙和代位形式共同进入晶格，使得晶胞体积增大。