《表4 其它若干因素对AZO薄膜性能的影响Table 4 Effect of different factors on the properties of AZO thin films》
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还有其他影响因素，如靶基距[33]、靶材的侵蚀程度[34]、溅射功率[35]、气体氛围[36]、工作压强[37]、Ar气以及频率[38]、AZO薄膜颗粒形态[39]等。表4列举了一些文献中对这些因素的研究情况。
| 图表编号 | XD0010556800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.02.20 |
| 作者 | 张庆远、王丽军、王小平、张鹏飞、杨丽萍 |
| 绘制单位 | 上海理工大学理学院、上海理工大学理学院、上海理工大学理学院、上海理工大学理学院、上海理工大学理学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
