《表2 退火温度不同的AZO薄膜的光电性能》

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《退火氧分压对AZO薄膜的透光和导电性能的影响》

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图6给出了AZO薄膜在不同退火温度下的透光率曲线，可见在400 nm~800 nm范围内AZO薄膜的透光率都高于85%。未退火的AZO薄膜透光率为88.53%，退火后的样品透光率降低至86.24%（表2），且退火后吸收限向长波方向移动。其原因是，退火温度的提高使氧空位迅速增加导致点缺陷增多，对光的散射增强，透光率下降。但是，XRD的结果表明，随着退火温度的提高晶格有序度提高，薄膜对光散射降低，使透光率上升，在一定程度上弥补了氧空位增多给透光率带来的的损失。同时，晶格内氧离子的减少使薄膜的金属性增强，ZnO带隙减小，吸收限向长波方向移动，但是移动的距离明显小于氧分压对吸收限的影响。因此，退火温度对薄膜透光率的影响并没有退火氧分压的影响明显。