《表1 退火实验工艺参数：沉积温度及热处理对AZO纳米叠层薄膜性能的影响》

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《沉积温度及热处理对AZO纳米叠层薄膜性能的影响》

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反应中所使用的循环为DEZ/N2/H2O/TMA/N2/H2O/N2，重复此循环160次，依次对应的脉冲时间为80 ms/4 s/40 ms/2 s/20 ms/2 s/20 ms/2 s，所得薄膜厚度为250 nm。将制备好的薄膜样品放在真空管式炉中进行退火处理，退火工艺参数如表1所示。