《表1 在不同氧分压下退火的AZO薄膜的光电性能》

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《退火氧分压对AZO薄膜的透光和导电性能的影响》

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图3给出了AZO薄膜在不同氧分压下退火的透光率曲线，可见各样品在400~800 nm的范围内的透光率均高于80%。退火后的薄膜在可见光波段范围内的透光率低于初始薄膜，吸收限向长波方向移动，并且随着退火氧分压的降低透光率也逐渐降低，最低降至83.24%（见表1）。随着退火氧分压的降低氧空位浓度增加，缺陷能级增多，从而使AZO薄膜在可见光范围内的吸收增强，透光率下降；其次，退火氧分压的降低使晶粒尺寸减小，晶界散射和晶格散射增强，也使透光率下降。吸收限向长波方向移动可归因于随着退火氧分压降低，氧空位增加使薄膜的金属性增强，带隙变窄，吸收限向长波方向移动。