《表1 AZO原始样和不同能量密度下Ag/AZO薄膜激光辐照后的Zn O(002)衍射峰的半峰全宽和晶粒尺寸》

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《激光辐照对Ag/AZO双层复合透明导电薄膜性能的影响》

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结合图8及表1可知，薄膜样品对应于ZnO四方相的衍射峰（JCPDS No.36-1451），且以（002）面择优生长。相较于AZO原始样，在激光辐照的作用下，薄膜表面晶粒均有生长，结晶程度均有所改善。当能量密度为0.6 J/cm2时，ZnO主峰相对于原始样明显变窄、变强，此时Ag/AZO薄膜的晶粒（以ZnO颗粒为主，有部分Ag纳米颗粒）得到有效生长，薄膜晶粒尺寸最大，为44.32 nm，晶体缺陷减少，薄膜的性能得到改善。当能量密度为0.2 J/cm2和0.8 J/cm2时，ZnO主峰的强度改变较少，薄膜晶粒尺寸也仅是稍微变大，为31.21 nm和32.93 nm，与原始AZO薄膜的晶粒尺寸（29.9 nm）相比，变化不明显。这就说明了过低或者过高的激光能量密度都会影响激光辐照过程中薄膜晶粒的生长[16]。当能量密度为0.4 J/cm2和0.8 J/cm2时，薄膜的晶粒尺寸分别为39.30 nm和40.64 nm，比激光能量密度为0.6 J/cm2时的晶粒尺寸小，这与前面其他性能所体现出来的规律一致。