《表1 半高宽和晶粒尺寸随Ar/O2不同流量比的变化关系》

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《溅射气体流量比对磷掺杂ZnO光学性质的影响》

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表1给出了ZnO:P晶粒尺寸随溅射气体流量比的变化关系.从表中可以看到，晶粒尺寸随流量比的变化很大.当溅射气体为纯Ar时，晶粒尺寸最大约为37.5 nm；当溅射气体为Ar/O2=1/3时，晶粒尺寸最小约为17.0 nm，最大晶粒尺寸与最小晶粒尺寸相差约20.5 nm.即当ZnO薄膜其余的生长条件不变，而只改变溅射气体流量比的时候，对ZnO薄膜的晶粒尺寸的影响显著.