《表2 XRD图谱中各主峰半高宽 (FEHM) 与平均晶粒尺寸》

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《前驱体溶液等离子喷涂参数对涂层形貌的影响及沉积行为机理研究》

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图2是通过在不同喷涂距离和喷涂功率下前驱体溶液等离子喷涂所得YbSZ涂层的XRD图谱。从图2中可以看出，涂层中只存在单斜相和四方相。除了30 kW、80 mm喷涂参数的样品，其他所有样品中仅检测到由于（101）、（110）、（112）、（103）和（202）反射（JCPDS卡88-1007）引起的单个t-ZrO2相。当喷涂功率为30 kW且喷涂距离为80 mm时，检测到m-ZrO2，且峰形较低，说明涂层中存在大量的不定形晶体结构。从喷涂距离来看，喷涂距离越大，峰形越尖锐，说明粒子在等离子焰流中飞行时间长，使得液滴充分反应，从而析出固相并烧结，涂层结晶度提高。当喷涂距离一定时，随着喷涂功率的增加，涂层结晶度更好。由此可见，喷涂工艺参数的变化在一定程度上影响涂层的晶型结构。根据谢乐公式计算晶粒尺寸，不同喷涂参数下所得涂层的XRD图谱中，各主峰的半高宽以及平均晶粒尺寸的计算结果如表2所示。从表2中的计算数据对比发现:随着喷涂距离的增大，晶粒尺寸先减小后增大，平均晶粒尺寸在喷涂距离为80 mm时达到最小，为177 nm；当喷涂功率为30 kW时，平均晶粒尺寸约为669 nm；随着喷涂功率的增大，晶粒尺寸急剧减小，喷涂功率为42 kW时，纳米粒子的尺寸达到最小，为165 nm。