《表2 煅烧样品中AlN的平均晶粒尺寸与结晶度》

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《碳热还原氮化法制备超细AlN粉体的过程及特性》

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图4所示为前驱体分别在1 600，1 650，1 700，和1 750℃下煅烧10 h后的XRD谱，表2所列为煅烧样品中AlN的平均晶粒尺寸与结晶度。由图4可见，1 600℃的煅烧产物中AlN衍射峰最强，但仍有明显的Al2O3衍射峰，说明在此温度下绝大多数的Al2O3已转变成AlN，但还有一定残余量。1 650℃的煅烧产物只存在AlN衍射峰，无Al2O3衍射峰，Al2O3已经完全转化为AlN。当煅烧温度升至1 700和1 750℃时，煅烧产物的XRD谱与1 650℃时的基本一致。从表2可知，AlN的结晶度与平均晶粒尺寸均随煅烧温度升高逐渐增大，当煅烧温度过高（1 750℃）时，AlN结晶度及平均晶粒尺寸却有小幅下降，可能与AlN晶粒的再结晶细化有关。值得注意的是，由于前驱体中的碳源为无定形结构，因此，煅烧产物中即使还有残留的碳，在其XRD谱中也未显现碳的衍射峰。