《表4 1 700℃温度下煅烧时间对煅烧样品O, N, C含量的影响》
延长前驱体的煅烧时间,不仅增加能耗,降低生产效率,降低设备的寿命,还对煅烧产物中AlN颗粒形态及尺寸产生不利影响。图5所示为1 700℃煅烧不同时间后的AIN颗粒截面SEM形貌。考虑到煅烧产物中AlN颗粒被残余的C包裹,难以从表面观察到,因此,将煅烧产物颗粒脱碳后,再用刀片切开,观察断面形貌。煅烧10 h的产物AlN颗粒尺寸不足1μm,呈不规则球形,颗粒间相互连接,内含连通的孔隙(见图5 (a)所示) 。煅烧时间延长至12 h时,所得AlN颗粒的尺寸和形态与煅烧10 h产物基本一致,但AlN粉体颗粒的圆整度有所增加(图5 (b)所示) ,颗粒形状趋于球形,这对AlN粉体的后续成形过程有利。时间延长至15 h时,AlN粉体颗粒明显长大,颗粒尺寸约为2μm,球形度进一步增大,AlN颗粒间发生局部烧结,孔隙减少(见图5 (c)) ,对后续的脱碳及粉碎工艺都产生不利影响。因此,前驱体的最佳煅烧条件为煅烧温度1 700℃,时间12 h。
图表编号 | XD0018406800 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.12.01 |
作者 | 魏鑫、张浩、孙登琼、田晨光、刘翔宇、崔嵩、汤文明 |
绘制单位 | 合肥工业大学材料科学与工程学院、合肥圣达电子科技实业有限公司、合肥圣达电子科技实业有限公司、合肥圣达电子科技实业有限公司、合肥工业大学材料科学与工程学院、中国电子科技集团公司第43研究所、合肥工业大学材料科学与工程学院 |
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