《表3 煅烧样品的O, N, C含量》

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《碳热还原氮化法制备超细AlN粉体的过程及特性》

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碳热还原氮化法合成AlN粉体要求反应原料中的碳源保持过量，不仅能促进Al2O3的转化，而且有利于制备出粒径均匀的AlN粉体，同时，AlN粉的比表面积也随C含量增加而变大[14]。理论上，完全反应所需Al2O3和C的物质的量比n（Al2O3）:n（C）为1:3，为了保证碳源过量，n（Al2O3）:n（C）通常为1:3.5~3.6，在Al2O3完全转化的情况下，煅烧产物中剩余的C含量在6.8%~8.1%（质量分数，下同）之间。表3所列为不同温度下煅烧12 h后所得AlN的O、N和C元素含量。由表3可知，1 600℃煅烧的产物O含量很高，为9.60%，而N含量很低，仅为27.60%，C含量偏高，为15.75%。这归因于煅烧温度过低，煅烧产物中仍有较多的Al2O3和C残余。当前驱体在1 650℃煅烧时，煅烧产物的O含量急剧降低至0.88%，C含量降至7.96%，同时，N含量大幅提高到33.6%；煅烧温度继续升高到1 700℃以上时，煅烧产物中的O、C含量小幅下降，N含量没有明显变化。