《表6 煅烧样品的脱碳正交实验结果》

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《碳热还原氮化法制备超细AlN粉体的过程及特性》

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对煅烧后的产品进行脱碳处理，去除其中残余的自由碳，是Al2O3碳热还原氮化反应法制备高纯AlN粉体必要的工艺步骤。AlN的脱碳效果与脱碳温度T、脱碳气氛中氧气与氮气的体积比（V （O2）/V（N2）） 及进料速率这3个因素关系最为密切。根据前期研究的经验，按3因素、2水平的正交实验设计，如表5所列，对1 700℃/12 h条件下煅烧后的样品进行Al N的脱碳实验，以C含量为主要考察指标，对实验结果进行极差分析，研究脱碳温度T、进料速率及脱碳气氛中的氧气与氮气体积比（V （O2）/V（N2）） 这3个因素对脱碳效果的影响，结果列于表6。