《表2 不同Ag含量沉积SnSe薄膜试样衍射峰峰的半高宽、衍射角及晶粒尺寸》

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《溅射沉积掺Ag的SnSe薄膜的微结构和热电性能》

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根据Scherrer方程D=Kλ/βcosθ，测量Ag3Sn相衍射峰的半高宽β，取波长λ为0.15406 nm，K=0.89，计算衍射角2θ在37.7°附近不同Ag含量SnSe薄膜中Ag3Sn相的平均晶粒尺寸，结果列于表2。在本文制备的不同Ag含量SnSe薄膜中，Ag3Sn相的平均晶粒尺寸近似相同，为11～15 nm。这表明，掺杂Ag后薄膜中形成纳米尺寸的Ag3Sn相，对其电阻率和Seebeck系数有很大的影响。