《表5 不同PEG6000浓度下铜镀层晶粒尺寸和特征衍射峰强度比》

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《表面活性剂PEG6000对二元络合体系化学沉积铜的影响》

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图5和图6分别给出了不同PEG6000浓度时化学沉积铜的SEM和EDS表征结果。可以看出，所制备的镀层表面平滑致密，没有铜粉铜瘤。PEG6000浓度不同时沉积的镀层表面宏观形貌没有明显的不同，即对沉积结晶的影响不大。图6给出了沉积铜的EDS分析，可见只有铜的特征峰。图7给出了沉积铜的XRD衍射图，在2θ为43.0±0.2°、50.1±0.2°和73.9±0.2°分别出现（111）、（200）和（220）衍射峰，与粉末衍射标准（PDF卡片编号040836）[31]的面心立方点阵结构（43.297°；50.433°；74.140°）十分接近，并且没有出现Cu2O等杂质峰，表明化学沉积铜纯度很高。根据表5给出的各晶面衍射峰强度占比分析，随着PEG6000浓度的提高（111）和（200）晶面占比均下降，而（220）比例增大，占比从37.3%升至49.0%。这表明，PEG6000使铜镀层向（220）晶面择优取向转变。