《表1 不同Ag掺杂量SnSe薄膜的成分》

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《溅射沉积掺Ag的SnSe薄膜的微结构和热电性能》

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根据能谱测定结果，掺杂不同Ag粒的SnSe薄膜成分列于表1。掺杂Ag的薄膜中含Ag、Sn和Se元素。在理论上，未掺杂Ag的SnSe薄膜其Sn与Se的比例应为1，但成分分析结果表明其比例为1.297，与理论值不符。其原因是，溅射沉积薄膜属于非平衡生长过程且Se元素极易挥发。随着Ag掺杂量的增加Ag与（Sn+Se）含量的比例由0.035提高到0.184，Sn与Se的比例由1.297提高到1.425。根据XRD谱确定了掺杂的Ag与Sn结合形成新的化合物，没有形成置换式化合物固溶体。