《表1 Ag掺杂含量、O含量、薄膜厚度和沉积速率随溅射电流和功率的变化关系》

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《Ag掺杂非晶碳膜结构、力学与电学行为研究》

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根据以上应力以及薄膜结构分析结果，可以对a-C:Ag的应力演变行为解释如下:在低Ag含量范围，固溶于碳膜网络结构的Ag原子起到枢纽作用，促进碳网络结构键长、键角畸变弛豫，从而降低薄膜应力[31]；随着Ag纳米晶的析出，薄膜通过Ag纳米晶与非晶碳界面处的滑移以及扩散作用也可以释放过高的畸变能，从而降低应力[32]。进一步增大Ag含量，薄膜表面出现了大量的团簇结构，由于团簇结构之间存在大量的空隙，易于气体分子（特别是极性水分子）的渗入，从而在薄膜中引入张应力，导致薄膜中应力状态转化[33]。