《表1 镀层与基体结合力随溅射电流的变化》

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《表1 镀层与基体结合力随溅射电流的变化》图表

《表1 镀层与基体结合力随溅射电流的变化》
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溅射电流对烧结NdFeB磁体表面磁控溅射铝防护层耐蚀性能的影响中,表1是对应溅射电流13 A、15 A和18 A下沉积的纯Al薄膜与基底的结合力,平均值分别是15.9 Pa、18.1 Pa和22.2 Pa。结果表明,溅射电流为13 A下沉积的样品镀层结合力波动最大,溅射电流为15 A下沉积的样品镀层结合力波动最小,随着溅射电流的增大,纯Al薄膜镀层与基底的结合力还是呈现升高的趋势。这是由于随着溅射电流的增大,Al原子附带一定的能量撞击基底表面,在基底上的迁移能力会随之提升,提高了薄膜与基底的粘结性。这与前面纯Al薄膜的断面SEM照片呈现的形貌也非常契合。

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