《表1 镀层与基体结合力随溅射电流的变化》
提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
本系列图表出处文件名:随高清版一同展现
《溅射电流对烧结NdFeB磁体表面磁控溅射铝防护层耐蚀性能的影响》
Pa
表1是对应溅射电流13 A、15 A和18 A下沉积的纯Al薄膜与基底的结合力,平均值分别是15.9 Pa、18.1 Pa和22.2 Pa。结果表明,溅射电流为13 A下沉积的样品镀层结合力波动最大,溅射电流为15 A下沉积的样品镀层结合力波动最小,随着溅射电流的增大,纯Al薄膜镀层与基底的结合力还是呈现升高的趋势。这是由于随着溅射电流的增大,Al原子附带一定的能量撞击基底表面,在基底上的迁移能力会随之提升,提高了薄膜与基底的粘结性。这与前面纯Al薄膜的断面SEM照片呈现的形貌也非常契合。
图表编号 | XD00345400 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2019.11.01 |
作者 | 钱尼健、严长江、俞潮杰 |
绘制单位 | 宁波科田磁业有限公司、宁波科田磁业有限公司、宁波科田磁业有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |