《表2 薄膜和厚度和沉积速率》

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《用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜》

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表2给出了沉积时间为30 min时在上、下极板沉积的薄膜的厚度和沉积速率。可以看出，沉积时间相同时，在上极板沉积的样品沉积速率更高。这与上极板处在进气口，活性等离子体的含量较高有直接的关系，也可佐证上极板处等离子体的浓度高而下极板处等离子体的浓度较低。