《表2 样品高度加速寿命试验性能随溅射电流的变化d》

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《溅射电流对烧结NdFeB磁体表面磁控溅射铝防护层耐蚀性能的影响》

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表2是溅射电流13 A、15 A和18 A下沉积的纯Al薄膜样品高度加速寿命试验的比较，平均寿命分别是3.4 d、7.8 d和14.9 d。高度加速寿命试验是在121℃、100%湿度和2个大气压的环境下进行的。可以发现，随着溅射电流的增大，纯Al薄膜镀层耐温、耐压和耐湿能力也在提高。这是由于随着溅射电流的增大，Ar电离率增大，Ar+离子能量增大，传递给铝原子的能量也增大，铝原子就以较高的能量沉积到基体表面，并在基体表面不断迁移，膜层与基底的粘附力得到提高，有效阻隔外界与磁体的接触。这与前面纯Al薄膜的表面SEM照片呈现的形貌吻合。