《表1 不同掺杂浓度的Ta∶TiO2薄膜 (101) 方向的晶粒尺寸》

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《钽掺杂二氧化钛薄膜的溶胶-凝胶法制备及光电性能调控》

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由于Ta5+离子半径（0.064nm）稍大于Ti 4+离子半径（0.0605nm），所以Ta5+的掺入导致TiO2产生晶格畸变，另一反面证明了钽元素的有效掺入。（101）衍射峰的半高宽FHWM随钽掺杂浓度的上升变大，表明随钽掺杂浓度的增加晶粒尺寸变小，这是由于钽是一种晶粒抑制元素。不同掺杂浓度下Ta∶TiO2薄膜的晶粒尺寸如表1所示，得出平均晶粒尺寸在14!41nm之间。钽元素掺杂进入TiO2晶格会恶化薄膜的结晶性能，抑制锐钛矿相的生长[13]。