《表1 BFNTO薄膜晶粒尺寸与Ni掺杂浓度变化关系》

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《Ni掺杂对铋层状钙钛矿Bi_6Fe_2Ti_3O_(18)薄膜微结构及铁电性能的影响》

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对于多铁薄膜，其晶粒尺寸和薄膜内应力对薄膜的铁电性能产生重要影响。基于薄膜XRD谱，通过Scherrer公式D=0.89λ/βcosθ计算了薄膜中的晶粒尺寸，其中:λ为X射线波长（λ=0.154 nm）；β为衍射峰半高宽；θ为衍射角。计算结果如表1所示。从表1可以看出，Ni掺杂量x=0、x=0.5、x=1.0和x=1.5的薄膜的平均晶粒尺寸分别为18.2、18.5、18.4和18.2 nm，没有表现出明显的变化规律，表明Ni离子掺杂对薄膜晶粒尺寸的变化没有明显的影响。为了进一步确定Ni离子掺杂对薄膜晶格结构的影响，根据XRD谱中I（00 12），I（11 11）和I（202）衍射峰计算了薄膜的晶格常数和内应力，内应力的定义为ε=（a–a0）/a0×100%，其中:a为BFNTO薄膜a-轴晶格常数；a0取值为0.549 nm。