《表1 不同Al摩尔分数掺杂的薄膜晶粒的平均粒径》

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《溶胶-凝胶法制备的用于模式控制型液晶透镜的AZO高电阻薄膜》

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在玻璃基板上制备了7种不同摩尔分数（5%，7.5%，10%12.5%，15%，17.5%，20%）的AZO高电阻薄膜，薄膜样品如图3所示。图4所示为7种样品的扫描电镜图。从图中可以看出，薄膜表面均匀平整，无明显断层缺陷，随着Al掺杂摩尔分数的增加，薄膜粒径变小，用软件Nano Measurer 1.2计算得出5%～20%Al掺杂的薄膜粒径约为24.35～17.53nm，不同Al掺杂的薄膜粒径如表1所示。这一结果与文献[14]报导结果基本一致。