《表1 不同退火温度的硅衬底Mo S2薄膜晶粒尺寸》

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《退火温度对MoS_2纳米薄膜微特性及光学性能的影响》

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由图2可知不同退火温度下的MoS2薄膜在26.5°、27.5°等的位置上均出现了衍射峰，对应的生长方向如图所示，说明该薄膜在（004）方向呈现择优生长。对数据进行拟合分析和计算，得出半峰全宽和晶粒尺寸如表1示。