《表1 衬底温度对AZO薄膜性能的影响》

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《掺铝氧化锌(AZO)薄膜的应用及研究评述》

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以磁控溅射法[17]制备AZO薄膜为例，衬底温度是影响其性能的重要因素。Y.Chen等[23]在不同的温度下制备AZO薄膜，发现随着衬底温度升高，晶粒尺寸变得更大，晶粒尺寸分布变得更均匀，禁带宽度增加，而平均透过率达到90%以上。其他人的研究也得到了相应的结论。结果见表1所示。