《表3 腐蚀产物余量、增氧量和实际氧含量》

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《不同Sn含量氧化铟锡靶材的制备及其第二相特征》

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样品A～样品D粉末腐蚀前后的质量变化情况见表3。由表3可见，各试样粉末经60 h的长时间腐蚀后，主晶相均被王水溶解，剩余第二相的质量随Sn O2比例的提高而增加，且当Sn O2含量为6%～10%时，剩余第二相的质量比例与SnO2的加入比例相接近且略高，而当SnO2含量为4%时，由于氧化锡掺杂至氧化铟中的最大固溶度为6%左右，故此时剩余第二相比例极少，仅为0.49%。