《表1 原料粉体的性能特征》

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《不同Sn含量氧化铟锡靶材的制备及其第二相特征》

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将In2O3、Sn O2爆破粉分别在600和800℃条件下煅烧3 h，得到纳米级In2O3和SnO2原料粉末。原料粉的性能特征见表1。由表1可见，煅烧后2种粉的纯度均为4N5级（所制备靶材纯度为4N级）；In2O3爆破粉在600℃处理后，细粉颗粒合并长大，粒度范围变窄（30～80 nm），BET降为15.21 m2/g；SnO2爆破粉在800℃处理后，粉末粒度明显增加，BET降至9.80 m2/g。