《表1 模型参数：预电离效应对ArF准分子激光特性的影响分析》
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在对ArF准分子激光气体放电过程建立流体模型时，将电极间隙划分为1 000个单元数，瞬态求解过程中的时间步长为1ns，其他基本参量设定情况如表1所示。
| 图表编号 | XD00145021600 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.08.01 |
| 作者 | 苏丹、赵江山、王倩 |
| 绘制单位 | 中国科学院微电子研究所、北京市准分子激光工程技术研究中心、中国科学院大学、中国科学院微电子研究所、北京市准分子激光工程技术研究中心、中国科学院大学、中国科学院微电子研究所、北京市准分子激光工程技术研究中心、中国科学院大学 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
