《表1 ArF激光照明模式变换DOE性能参数》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《基于离散抽样加密算法的衍射光学元件设计》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

193 nm光刻机照明系统由光束传输单元、光束准直单元、照明模式变换单元和耦合光组等部件组成。衍射光学元件、变焦光组与锥镜棱镜镜组构成照明模式变换单元。从掩模面的要求出发，分析和计算耦合光组、匀场照明光学组件及扩束整形各部分之间的相互关系，最终给出照明模式变换DOE的设计要求（表1）。