《表4 DOE加工误差参数》

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《基于离散抽样加密算法的衍射光学元件设计》

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根据仿真实验参数，采用接近接触式曝光机完成了抽样线宽1.76μm的照明模式变换器元件成品的制作，除开关键单元技术和工艺稳定性控制技术需要单独攻克之外，一次完整的工艺流程需要55个步骤。其中，因衍射光学元件的台阶数为16，该16个台阶需要通过四次光刻，四次刻蚀获得，具体工艺实现过程如图12所示，所制备的DOE样品和衍射区显微图如图13（a）和图13（b）所示。对于照明模式变换DOE的研制，需要控制的几个重要参数包括:套刻误差、刻蚀深度误差和图形畸变，DOE加工误差参数分析如表4所示。