《表2 不同特征尺寸下四极照明DOE的能量利用率》
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综合以上研究分析，不同特征尺寸下四极照明衍射光学元件能量利用率如表2所示。实际衍射效率、光强非均匀性与抽样单元的关系如图10所示。
| 图表编号 | XD0089661100 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.09.25 |
| 作者 | 李美萱、李宏、张斯淇、张文颖、郭明 |
| 绘制单位 | 吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院、吉林省量子信息技术工程实验室、吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院、吉林省量子信息技术工程实验室、吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院、吉林省量子信息技术工程实验室、吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院、吉林省量子信息技术工程实验室、吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院、吉林省量子信息技术工程实验室 |
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