《表3 抽样线宽1.76μm的照明模式变换DOE的设计优化结果》

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《基于离散抽样加密算法的衍射光学元件设计》

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当设计线宽小于2μm时，衍射效率均大于85%，并且变化比较平缓，非均匀性也满足小于5%的设计要求。此时衍射效率与极限值之差将增大，主要原因是非目标区域所占的角度空间比例增大所致。进一步减小线宽对提高衍射效率作用不明显。且此时对加工工艺提出了很高的要求，所以应综合考虑到制作成品率及制作难度，故最终设计图形区域30 mm×30 mm，阵列数为20×20，阵列单元内的抽样点数为850×850，抽样单元线宽D=1/3Dmax，即D=1.76μm。通过4点加密后，不同照明模式下D=1.76μm的变换DOE整形光强二维和三维分布如图11所示。其衍射效率与光强分布非均匀性如表3所示，满足设计要求。