《表2 存在±2μm容差时刻线锯齿、线长、线宽的值》

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《自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘》


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经模拟分析,当微镜阵列成像的线性错位具有±2μm范围内的容差时,刻线锯齿、线长、线宽的变化见表2.