《表2 存在±2μm容差时刻线锯齿、线长、线宽的值》
经模拟分析,当微镜阵列成像的线性错位具有±2μm范围内的容差时,刻线锯齿、线长、线宽的变化见表2.
图表编号 | XD0032849200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.04.01 |
作者 | 孙彦杰、刘华、李金环、陆子凤、张莹、罗钧 |
绘制单位 | 东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心、东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心 |
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