《表1 不同间隙下光刻机的最小线宽和线宽误差》
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由式（4）、（5）可以得出最小线宽、掩模版与基底之间的间隙以及线宽误差如表1所示．
| 图表编号 | XD00157604200 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.05.01 |
| 作者 | 巩畅畅、范斌、邵俊铭、刘鑫 |
| 绘制单位 | 中国科学院光电技术研究所、中国科学院大学、中国科学院光电技术研究所、中国科学院光电技术研究所、中国科学院光电技术研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
由式（4）、（5）可以得出最小线宽、掩模版与基底之间的间隙以及线宽误差如表1所示．
| 图表编号 | XD00157604200 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.05.01 |
| 作者 | 巩畅畅、范斌、邵俊铭、刘鑫 |
| 绘制单位 | 中国科学院光电技术研究所、中国科学院大学、中国科学院光电技术研究所、中国科学院光电技术研究所、中国科学院光电技术研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
![表2 不同烧结条件下制备的丝网印刷BaM厚膜的铁磁共振线宽、矩形度与矫顽力[6]](http://bookimg.mtoou.info/tubiao/gif/CXCQ202004014_06400.gif)
