《表2 蚀刻后线宽和深度：一种高精度浅绝缘层板的制作技术》

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《一种高精度浅绝缘层板的制作技术》

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酸性控深蚀刻后线宽满足要求，因0.127 mm/0.127 mm(5/5 mil）线路补偿空间有限，无补偿位置，蚀刻深度不能满足要求，数据如表2所示，验证失败；控深蚀刻切片图如图3所示。