《表2 第一次蚀刻后线宽测量分组办法》
针对宽度均匀性差的状况,需在第二次蚀刻时进行调整,尽量减小宽度对精度的影响。一般采取第二次蚀刻时首板确认电阻值以调试蚀刻速度的办法。我们提出在每个set旁增加一组电阻测试条(与单元内设计一致)的办法用于监控单元内电阻,在第一次图形制作后测量每片板线宽,并按线宽将板进行分组,第二次蚀刻时每组分别制作首板,调整蚀刻线速(如图3、表2、表3)。
图表编号 | XD0097868000 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.09.10 |
作者 | 刘涌 |
绘制单位 | 上海美维电子有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |